WO3外延薄膜被認為是極具潛力的氣敏材料，因為它具有比表面積大、熱穩(wěn)定性好等優(yōu)點，而且，其晶相、外露晶面及縱向晶粒尺寸可精確控制。
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據(jù)報道，研究人員針對WO3外延薄膜開展如下研究：
（1）用激光分子束外延在不同取向的LaAlO3、SrTiO3、Al2O3單晶襯底上制備具有特定晶相和晶面的WO3外延薄膜，結合結構表征、物性測量、第一性原理計算以及氣敏性能測試，研究晶相、外露晶面及膜厚等參數(shù)對氣敏性能的影響；
（2）在WO3外延薄膜表面修飾NiO、SnO2、Pd等材料，探究p-n、n-n及金屬-氧化物異質(zhì)結對氣敏性能的調(diào)控作用；
（3）開展氣敏性能長期穩(wěn)定性測試，利用結構表征手段，揭示薄膜微結構變化與傳感器穩(wěn)定性的關聯(lián)，探索提高穩(wěn)定性的方法。
